| # | Код | Наименование | Характеристики | Ед. Изм. | Код МКЕИ |
|---|---|---|---|---|---|
| 221 | 28.29.60.500.003.00.0796.000000000000 | Аппарат для нагрева газового баллона | для нагрева и поддержания рабочего давления в баллоне | Штука | 796 |
| 222 | 28.29.60.900.001.00.0796.000000000000 | Установка прямого охлаждения | градирень | Штука | 796 |
| 223 | 28.29.60.500.002.00.0796.000000000000 | Установка для вакуумного осаждения | металла из паровой фазы | Штука | 796 |
| 224 | 28.29.60.900.000.00.0796.000000000000 | Установка для быстрого нагрева | полупроводниковых пластин | Штука | 796 |
| 225 | 28.29.60.930.000.00.0796.000000000000 | Установка для химического осаждения | из паровой фазы на полупроводниковые пластины | Штука | 796 |
| 226 | 28.29.60.930.000.00.0796.000000000001 | Установка для химического осаждения | из паровой фазы с помощью электронного луча или напыления на полупроводниковые пластины | Штука | 796 |
| 227 | 28.29.60.930.000.00.0796.000000000002 | Установка для химического осаждения | из паровой фазы на подложки жидкокристаллических устройств | Штука | 796 |
| 228 | 28.29.60.930.000.00.0796.000000000003 | Установка для химического осаждения | кристализатор | Штука | 796 |
| 229 | 28.29.60.500.001.00.0796.000000000000 | Аппарат емкостный | цилиндрический, с неподвижными внутренними устройствами | Штука | 796 |
| 230 | 28.29.60.500.001.00.0796.000000000001 | Аппарат емкостный | с механическими перемешивающими и теплообменными устройствами | Штука | 796 |