| # | Код | Наименование | Характеристики | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 281321.900.000007 | Устройство | для откачивания и заполнения элегазом | ||
| 2 | 281321.900.000001 | Воздуходувка | электрическая | ||
| 3 | 281321.900.000004 | Насос | вакуумный (кроме турбомолекулярного), производительность до 1500 л/с | ||
| 4 | 281321.900.000002 | Насос | вакуумный турбомолекулярный, производительность до 800 л/с | ||
| 5 | 281321.900.000003 | Насос | форвакуумный, производительность до 840 м3/ч | ||
| 6 | 281321.900.000005 | Ловушка | вакуумная | ||
| 7 | 281321.900.000000 | Аппарат вакуумный | газоструйный | ||
| 8 | 281321.900.000006 | Насос | вакуумный (кроме турбомолекулярного), производительность более 1500 л/с |