| # | Код | Атау | Сипаттама | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 281321.900.000006 | Сорғы | вакуумдық (турбомолекулалықсыз), өнімділігі 1500 л/с астам | ||
| 2 | 281321.900.000007 | Құрылғы | сору және элегазбен толтыру үшін | ||
| 3 | 281321.900.000001 | Ауа үрлегіш | электрлі | ||
| 4 | 281321.900.000004 | Сорғы | вакуумдық (турбомолекулалықсыз), өнімділігі 1500 л/с дейін | ||
| 5 | 281321.900.000002 | Сорғы | вакуумдық турбомолекулалық, өнімділігі 800 л/с дейін | ||
| 6 | 281321.900.000003 | Сорғы | форвакуумдық, өнімділігі 840 м3/с дейін | ||
| 7 | 281321.900.000005 | Тұзақ | вакуумдық | ||
| 8 | 281321.900.000000 | Вакуум аппарат | газ шаптырмалық |