| # | Код | Наименование | Характеристики | Ед. Изм. | Код МКЕИ |
|---|---|---|---|---|---|
| 171 | 20.13.22.300.000.00.0166.000000000000 | Тетрахлорид кремния | жидкость | Килограмм | 166 |
| 172 | 20.13.22.300.004.00.0168.000000000000 | Трихлорид фосфора | жидкость | Тонна (метрическая) | 168 |
| 173 | 20.13.22.300.004.00.0166.000000000000 | Трихлорид фосфора | жидкость | Килограмм | 166 |
| 174 | 20.13.22.300.005.00.0168.000000000000 | Пентахлорид фосфора | кристаллы | Тонна (метрическая) | 168 |
| 175 | 20.13.22.300.005.00.0166.000000000000 | Пентахлорид фосфора | кристаллы | Килограмм | 166 |
| 176 | 20.13.22.300.003.00.0168.000000000000 | Трихлорид йода | кристаллы | Тонна (метрическая) | 168 |
| 177 | 20.13.22.300.003.00.0166.000000000000 | Трихлорид йода | кристаллы | Килограмм | 166 |
| 178 | 20.13.22.300.002.00.0112.000000000000 | Дихлорид серы | жидкость | Литр (куб. дм.) | 112 |
| 179 | 20.13.22.300.002.00.0166.000000000000 | Дихлорид серы | жидкость | Килограмм | 166 |
| 180 | 20.13.22.300.001.00.0112.000000000000 | Дихлорид дисеры | жидкость | Литр (куб. дм.) | 112 |