| # | Код | Атау | Сипаттама | Өлш.бірл. | МКЕИ коды |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 20.13.22.350.014.00.0166.000000000000 | Фосфор трихлорксиді | сұйықтық | Килограмм | 166 |
| 2 | 20.13.22.350.014.00.0112.000000000000 | Фосфор трихлорксиді | сұйықтық | Литр (куб дм.) | 112 |
| 3 | 20.13.22.350.015.00.0166.000000000000 | Элегаз (күкірт гексафториді) | газ, электрлі оқшаулағыш | Килограмм | 166 |
| 4 | 20.13.22.350.006.00.0112.000000000000 | Күкірт дихлороксиді | сұйықтық | Литр (куб дм.) | 112 |
| 5 | 20.13.22.300.000.00.0166.000000000000 | Кремний тетрахлориді | Килограмм | 166 | |
| 6 | 20.13.22.300.004.00.0168.000000000000 | Фосфор трихлориді | сұйықтық | Тонна | 168 |
| 7 | 20.13.22.300.004.00.0166.000000000000 | Фосфор трихлориді | сұйықтық | Килограмм | 166 |
| 8 | 20.13.22.300.005.00.0168.000000000000 | Фосфор пентахлориді | кристалдар | Тонна | 168 |
| 9 | 20.13.22.300.005.00.0166.000000000000 | Фосфор пентахлориді | кристалдар | Килограмм | 166 |
| 10 | 20.13.22.300.003.00.0168.000000000000 | Йод трихлориді | кристалдар | Тонна | 168 |