| # | Код | Наименование | Характеристики | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 282960.930.000002 | Установка для химического осаждения | из паровой фазы на подложки жидкокристаллических устройств | ||
| 2 | 282960.930.000003 | Установка для химического осаждения | кристализатор | ||
| 3 | 282960.930.000000 | Установка для химического осаждения | из паровой фазы на полупроводниковые пластины |