| # | Код | Наименование | Характеристики | Ед. Изм. | Код МКЕИ |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 28.29.60.930.000.00.0796.000000000000 | Установка для химического осаждения | из паровой фазы на полупроводниковые пластины | Штука | 796 |
| 2 | 28.29.60.930.000.00.0796.000000000001 | Установка для химического осаждения | из паровой фазы с помощью электронного луча или напыления на полупроводниковые пластины | Штука | 796 |
| 3 | 28.29.60.930.000.00.0796.000000000002 | Установка для химического осаждения | из паровой фазы на подложки жидкокристаллических устройств | Штука | 796 |
| 4 | 28.29.60.930.000.00.0796.000000000003 | Установка для химического осаждения | кристализатор | Штука | 796 |