| # | Код | Наименование | Характеристики | Ед. Изм. | Код МКЕИ |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 20.13.22.300.000.00.0166.000000000000 | Тетрахлорид кремния | жидкость | Килограмм | 166 |
| 2 | 20.13.22.300.004.00.0168.000000000000 | Трихлорид фосфора | жидкость | Тонна (метрическая) | 168 |
| 3 | 20.13.22.300.004.00.0166.000000000000 | Трихлорид фосфора | жидкость | Килограмм | 166 |
| 4 | 20.13.22.300.005.00.0168.000000000000 | Пентахлорид фосфора | кристаллы | Тонна (метрическая) | 168 |
| 5 | 20.13.22.300.005.00.0166.000000000000 | Пентахлорид фосфора | кристаллы | Килограмм | 166 |
| 6 | 20.13.22.300.003.00.0168.000000000000 | Трихлорид йода | кристаллы | Тонна (метрическая) | 168 |
| 7 | 20.13.22.300.003.00.0166.000000000000 | Трихлорид йода | кристаллы | Килограмм | 166 |
| 8 | 20.13.22.300.002.00.0112.000000000000 | Дихлорид серы | жидкость | Литр (куб. дм.) | 112 |
| 9 | 20.13.22.300.002.00.0166.000000000000 | Дихлорид серы | жидкость | Килограмм | 166 |
| 10 | 20.13.22.300.001.00.0112.000000000000 | Дихлорид дисеры | жидкость | Литр (куб. дм.) | 112 |
| 11 | 20.13.22.300.001.00.0166.000000000000 | Дихлорид дисеры | жидкость | Килограмм | 166 |
| 12 | 20.13.22.300.006.00.0112.000000000000 | Трихлорид мышьяка | жидкость | Литр (куб. дм.) | 112 |
| 13 | 20.13.22.300.006.00.0166.000000000000 | Трихлорид мышьяка | жидкость | Килограмм | 166 |
| 14 | 20.13.22.300.000.00.0112.000000000000 | Тетрахлорид кремния | жидкость | Литр (куб. дм.) | 112 |